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ZYGO激光干涉測量系統(tǒng)技術(shù)解析ZYGO激光干涉測量系統(tǒng)是基于光學(xué)干涉原理的精密測量設(shè)備，適用于光學(xué)元件、半導(dǎo)體器件等產(chǎn)品的表面形貌檢測需求。該系統(tǒng)采用非接觸式測量方式，可提供納米級(jí)精度的表面特征數(shù)據(jù)。

在精密光學(xué)、半導(dǎo)體和制造領(lǐng)域，表面形貌測量對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量控制至關(guān)重要。ZYGO共聚焦激光干涉儀結(jié)合共聚焦顯微技術(shù)與激光干涉測量原理，為納米級(jí)表面檢測提供了有效的解決方案。ZYGO共聚焦激光干涉儀高精度表面測量選擇

ZYGO激光共聚焦干涉儀系列產(chǎn)品是基于光學(xué)干涉原理的高精度表面測量儀器，適用于光學(xué)元件、半導(dǎo)體器件、精密機(jī)械零件等表面的納米級(jí)形貌測量需求。該系列產(chǎn)品采用非接觸式測量方式，可為用戶提供三維表面形貌數(shù)據(jù)。ZYGO激光共聚焦干涉儀精密表面測量解決方案

美國ZYGOQualifire干涉儀ZYGO Qualifire系列是美國ZYGO公司推出的高性能激光干涉儀產(chǎn)品，專為光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的快速、精確測量而設(shè)計(jì)。作為全球光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域的，ZYGO的Qualifire系列結(jié)合了優(yōu)良的激光干涉技術(shù)和用戶友好的操作界面，為光學(xué)制造、科研和質(zhì)量控制提供了可靠的測量解決方案。

隨著半導(dǎo)體、光刻、星載成像系統(tǒng)、消費(fèi)電子、國防等行業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)計(jì)量應(yīng)用的精度、穩(wěn)定性和效率提出了的嚴(yán)苛要求。傳統(tǒng)干涉儀在面對(duì)這些高難度場景時(shí)，往往在噪聲控制、對(duì)焦精度、變焦穩(wěn)定性等方面美國ZYGO共聚焦激光干涉儀存在不足。為了滿足行業(yè)需求，美國 ZYGO 公司于 2024 年推出了 Qualifire™激光干涉儀，旨在為挑戰(zhàn)性的計(jì)量任務(wù)提供的解決方案。

美國ZYGO激光干涉儀ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI激光干涉儀系列的大部分優(yōu)點(diǎn)，融合了機(jī)械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動(dòng)補(bǔ)償軟件、非球面測量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等。 Zygo最新推出用于在震動(dòng)環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。