澤攸 臺階儀憑借靈活的配置,可適應多樣化的測量需求。其采用模塊化設計,傳感器與工作臺均可根據樣品特性更換,提升設備的適用范圍。澤攸多場景適配的臺階儀
設計上注重擴大測量范圍的同時保持測量精度,其驅動系統采用伺服電機,運行平穩,掃描過程中觸針測力波動小。
基礎測量范圍 0 - 300μm,垂直分辨率 0.01nm,水平軸定位精度 5μm。配備非接觸式光學傳感器,與接觸式觸針傳感器可快速切換:光學傳感器適合測量柔軟、易劃傷的樣品,如聚合物薄膜;觸針傳感器則適用于高硬度材料的精確測量。
設備外殼采用鋁合金材質,表面經陽極氧化處理,兼具防腐與美觀性。工作臺行程 X/Y 方向各 100mm,支持樣品的多位置測量,定位精度達 10μm。軟件內置多種測量模式,包括臺階高度、線粗糙度、面粗糙度等,可自動計算相關參數。
使用時,根據樣品選擇合適傳感器,通過軟件預設測量方案,一鍵啟動即可完成測量。在生物材料表面分析、微機電系統結構檢測等場景中表現良好,為跨領域研究提供測量支持。
傳感器觸針可選配不同規格,針尖半徑涵蓋 2μm、5μm、10μm,適應不同硬度與粗糙度的樣品。設備工作臺采用大理石材質,平面度誤差小,配有真空吸附裝置,可牢固固定各類樣品。
參數方面,掃描速度 0.05 - 2mm/s 可調,數據采集率 100kHz,確??焖賿呙钑r數據不丟失。使用說明中提示,測量前需進行觸針校準,通過標準臺階樣塊校正系統誤差。適用于光學元件的表面輪廓測量、金屬材料的磨損深度分析等領域。
澤攸多場景適配的臺階儀