澤攸 ST800 臺階儀集成了接觸式與非接觸式測量功能,通過智能化控制系統,為復雜樣品的測量提供全面解決方案。澤攸 集成化的臺階測量方案
接觸式測量范圍 0 - 800μm,垂直分辨率 0.05nm;非接觸式光學傳感器采用白光干涉原理,測量范圍 0 - 100μm,垂直分辨率 0.1nm,兩種模式可無縫切換,兼顧深臺階與精細表面的測量需求。
設備工作臺采用氣浮設計,運動平穩無摩擦,X/Y 行程 200mm,定位精度 5μm,支持自動樣品定位與多點測量。軟件具備圖像拼接功能,可將多個測量區域的形貌圖拼接成完整的樣品表面形貌,便于整體分析。
用材上,關鍵部件如導軌、絲杠等選用進口高精度產品,確保設備的長期穩定性。使用說明中詳細介紹了自動測量流程:通過相機定位樣品特征,軟件規劃測量路徑,自動完成多個點的測量并生成綜合報告。適用于精密儀器制造中的表面質量檢測、高校科研中的材料表征等場景,為用戶提供高效、全面的測量支持。澤攸 集成化的臺階測量方案
使用時,將樣品固定在工作臺上,調整觸針位置使其輕觸樣品表面,設置掃描速度(0.1 - 1mm/s)和掃描長度后啟動測量。適用于薄膜厚度檢測、涂層臺階分析等場景,如半導體晶圓的鍍膜厚度測量,為生產質量控制提供數據支持。