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光鏡及電鏡制樣設備
美國RMC半薄&超薄切片機
PowerTome 3DRMC 切片機:工業材料研發的三維分析助手
RMC 切片機:工業材料研發的三維分析助手在復合材料、半導體等工業研發領域,材料內部微觀結構的三維分析是優化性能、改進工藝的關鍵。美國RMC PowerTome 3D超薄切片機憑借其適配工業樣品的切片能力與三維定位功能,成為工業研發中的可靠工具。
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RMC 切片機:工業材料研發的三維分析助手
在復合材料、半導體等工業研發領域,材料內部微觀結構的三維分析是優化性能、改進工藝的關鍵。美國RMC PowerTome 3D超薄切片機憑借其適配工業樣品的切片能力與三維定位功能,成為工業研發中的可靠工具。
該設備采用工業級加固設計,外殼為1.5mm厚不銹鋼板,表面經防腐蝕處理,能適應研發車間的復雜環境(如輕微粉塵、化學試劑揮發)。操作界面支持工業級操作系統,具備權限管理功能,可設置研發人員、技術員等不同權限,保障實驗數據安全性。樣品臺支持大尺寸樣品放置,最大容納直徑50mm、高度30mm的塊狀材料,配備氣動夾緊裝置,夾緊壓力0.1-0.5MPa可調,避免切片過程中樣品松動。
樣品臺氣動夾緊裝置的夾具采用鈦合金材質,具備高強度與輕量化特性,既能穩固固定硬材料樣品,又不會產生夾緊變形。刀片架采用高強度工具鋼,經精密加工后刀片固定槽平整度誤差小于1μm,確保刀片與樣品臺平行度。內部傳動部件選用耐磨軸承與滾珠絲杠,滾珠絲杠表面鍍有硬質鉻層,耐磨性提升50%,延長使用壽命。
參數項 | 具體數值 |
---|---|
切片厚度范圍 | 0.5nm-10μm |
樣品臺行程 | X50mm/Y50mm/Z20mm |
樣品最大尺寸 | 直徑50mm,高度30mm |
夾緊方式 | 氣動夾緊(壓力0.1-0.5MPa) |
切片收集 | 自動收集,支持順序標注 |
工業接口 | 相機接口(C口)、以太網 |
工作溫度 | 15-30℃ |
PowerTome 3D適用于復合材料界面分析(如碳纖維增強復合材料)、半導體晶圓內部電路觀察及金屬材料晶粒生長研究。操作時,用戶需將樣品固定于氣動夾緊裝置,通過操作界面選擇預設程序(如“半導體晶圓切片"或“復合材料切片"),設置切片厚度、速度與連續切片層數。設備自動完成切片與收集,過程中可通過工業相機實時拍攝切片圖像,記錄缺陷位置。切片完成后,取下切片進行后續分析(如電鏡觀察或成分檢測),合格數據上傳至研發管理平臺。
RMC 切片機:工業材料研發的三維分析助手