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澤攸臺式掃描電鏡
ZEM20臺式掃描電鏡:微觀世界的“多面手”
ZEM20臺式掃描電鏡:微觀世界的“多面手"在材料科學、新能源開發及生物醫藥等領域,微觀結構的分析需求日益增長。澤攸科技推出的ZEM20臺式掃描電子顯微鏡(SEM),憑借其緊湊設計、多功能集成與便捷操作,成為實驗室與工業場景中的“微觀觀測工具"。
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ZEM20臺式掃描電鏡:微觀世界的“多面手"
在材料科學、新能源開發及生物醫藥等領域,微觀結構的分析需求日益增長。澤攸科技推出的ZEM20臺式掃描電子顯微鏡(SEM),憑借其緊湊設計、多功能集成與便捷操作,成為實驗室與工業場景中的“微觀觀測工具"。
ZEM20的加速電壓范圍為3kV至20kV,支持1kV步進調節,最高放大倍數達360,000倍,分辨率優于4nm(20kV下)。其電子槍采用預對中鎢燈絲設計,搭配一體式聚光鏡,無需手動調節物鏡光闌,顯著降低操作門檻。設備標配五軸全自動樣品臺(X/Y/Z/R/T軸),行程范圍覆蓋X軸90mm、Y軸50mm、Z軸32mm,旋轉角度360°,傾斜角度-10°至90°,可靈活適配復雜樣品的多角度觀測需求。
真空系統:真空分隔技術將電子槍與樣品倉獨立抽真空,換樣時間縮短至30秒內,大幅提升實驗效率。設備支持高真空(抽真空時間<30秒)與低真空(1-100Pa自動控制)雙模式,無需噴金即可直接觀察弱導電樣品(如聚合物、生物組織),減少樣品制備流程。
樣品艙:超大樣品艙尺寸達185mm×176mm×125mm,兼容兩軸(120mm×100mm×75mm)與五軸樣品臺,可容納大型塊狀樣品或異形結構件。艙內配備高清攝像頭與光學CCD導航系統,支持實時監控樣品位置與狀態。
探測器組合:集成二次電子探測器(SE)、四分割背散射電子探測器(BSE)及集成式能譜儀(EDS),支持SE+BSE模式同步采集與圖像疊加,可同時獲取樣品表面形貌與成分分布信息。
燈絲材料:預對中鎢燈絲為標準配置,可選配LaB6燈絲以提升亮度與壽命。
信號采集:帶寬高達10MHz,支持視頻模式(512×512像素實時顯示)、快速模式(<3秒掃描)與慢掃模式(<40秒獲取2048×2048像素高分辨率圖像)。
圖像處理:軟件內置自動亮度對比度、自動聚焦、自動消像散及大圖拼接功能,支持BMP/TIFF/JPEG/PNG格式輸出。
環境適應性:主機尺寸650mm×370mm×642mm,機械泵454mm×165mm×252mm,無需專用減震臺,常規市電(AC 220V, 50Hz, 1kW)即可運行。
ZEM20適用于金屬材料裂紋分析、半導體器件失效檢測、鋰電池電極微觀結構表征、生物細胞形貌觀察等領域。例如,在鋰電行業中,其低真空模式可直接觀察未噴金的電極材料,結合EDS能譜分析,可快速定位鋰枝晶生長位置與成分變化;在半導體領域,五軸樣品臺支持晶圓邊緣缺陷的多角度觀測,助力工藝優化。
樣品準備:非導電樣品需噴金(厚度5-10nm),導電膠固定樣品后放入樣品艙。
參數設置:通過鼠標選擇高/低真空模式,調節加速電壓(如15kV)與光斑直徑(粗/中/細),啟用自適應亮度對比度。
圖像采集:低倍下定位目標區域,切換至高倍模式后微調聚焦與消像散,選擇合適幀數(如5幀平均)保存圖像。
ZEM20以“小體積、大功能"重新定義臺式掃描電鏡,為科研與工業用戶提供高效、靈活的微觀分析解決方案。