澤攸科技ZEM15臺(tái)式掃描電鏡的價(jià)值，不僅在于其緊湊的體型，更在于其集成的技術(shù)為日常的微區(qū)分析提供的支持。它試圖在桌面設(shè)備的便捷性與傳統(tǒng)電鏡的部分性能之間找到平衡，滿足工業(yè)質(zhì)檢和學(xué)術(shù)研究中對(duì)效率的部分要求。

ZEM15的技術(shù)內(nèi)涵體現(xiàn)在其光學(xué)系統(tǒng)和探測系統(tǒng)上。冷場發(fā)射電子槍提供了較小的電子源尺寸和較高的亮度，這是獲得較高分辨率圖像的基礎(chǔ)。電磁透鏡組負(fù)責(zé)將電子束聚焦并掃描在樣品表面。其內(nèi)置的半導(dǎo)體背散射電子探測器對(duì)原子序數(shù)差異敏感，可用于快速區(qū)分樣品中不同成分的區(qū)域；二次電子探測器則對(duì)樣品表面形貌起伏敏感，能呈現(xiàn)豐富的三維立體細(xì)節(jié)。兩種信號(hào)的可同時(shí)采集與顯示，為用戶分析樣品提供了多維信息。

在操作性能上，ZEM15的自動(dòng)化程度是一個(gè)特點(diǎn)。系統(tǒng)通常具備自動(dòng)真空控制、自動(dòng)燈絲加熱、甚至部分型號(hào)支持自動(dòng)樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)和圖像拼接功能。這些設(shè)計(jì)減少了人工操作步驟，降低了操作復(fù)雜性，使新手經(jīng)過基本培訓(xùn)后也能獨(dú)立完成常規(guī)觀察。軟件的圖形化界面將參數(shù)調(diào)節(jié)、圖像采集、測量分析功能集成在一起，流程清晰直觀。

在樣品適應(yīng)性方面，其五軸馬達(dá)樣品臺(tái)允許用戶在不破壞真空的情況下，對(duì)樣品進(jìn)行多角度的移動(dòng)、傾斜和旋轉(zhuǎn)，便于從優(yōu)良角度觀察感興趣的區(qū)域。針對(duì)常見的荷電問題，用戶可通過選擇較低的加速電壓、采用低真空模式（若配備）或?qū)Ψ菍?dǎo)電樣品進(jìn)行適當(dāng)預(yù)處理來應(yīng)對(duì)。

操作流程簡述：

1. 樣品制備： 確保樣品尺寸合規(guī)，非導(dǎo)電樣品需進(jìn)行導(dǎo)電處理（如噴金）。

2. 樣品加載： 打開樣品室，使用專用工具將樣品座穩(wěn)妥放置于樣品臺(tái)上，關(guān)閉樣品室。

3. 開始抽真空： 在軟件上點(diǎn)擊“開始抽真空"，系統(tǒng)自動(dòng)完成抽真空過程。

4. 條件設(shè)置： 真空就緒后，選擇加速電壓（常用5-15kV）、探針電流和工作距離。

5. 尋找與聚焦： 使用低倍數(shù)尋找感興趣區(qū)域，逐步放大，并調(diào)節(jié)焦距和像散，獲得清晰圖像。

6. 圖像采集： 調(diào)整對(duì)比度和亮度，選擇合適的掃描速度和圖像積分次數(shù)，采集并保存圖片。

7. 分析測量： 利用軟件工具進(jìn)行顆粒度分析、孔徑測量或能譜成分分析（若配備EDS）。