在半導體制造、納米材料研發及微電子器件測試領域，對樣品與測試設備進行納米級電學表征是突破技術瓶頸的關鍵。北京儀光推出的微納探針臺憑借其亞納米級定位精度與多維度功能集成，成為推動微納電學研究邁向新高度的核心工具。

　　一、三維空間納米級定位：突破物理極限的操控藝術

　　澤攸微納探針臺采用壓電陶瓷驅動技術，通過三軸獨立運動臺實現X/Y/Z方向±10mm的行程控制，運動分辨率達0.5nm。其核心創新在于柔性鉸鏈導向系統與零間隙傳動設計，確保在宏觀行程范圍內仍能保持亞納米級定位精度。例如，在測試量子點陣列的載流子遷移率時，探針臺可精準定位至單個納米晶粒表面，通過0.1nm步進調整探針接觸點，消除傳統設備因定位誤差導致的測量偏差。

　　二、多模態電學表征：從靜態參數到動態響應的全譜解析

　　該設備支持IV/CV特性測試、霍爾效應測量及高頻射頻分析，覆蓋直流至1THz的寬頻域。在碳納米管場效應晶體管研發中，其低電流測量模塊可捕獲fA漏電流信號，結合脈沖式電壓掃描功能，可動態監測柵極電壓對溝道電導的調制過程。更值得關注的是，通過集成光纖探針與納米鑷子，設備可同步實現電學測試與光致發光/力-電耦合表征，為二維材料異質結研究提供多物理場協同分析手段。

　　三、真空環境兼容性：原位表征的技術突破

　　針對掃描電鏡（SEM）腔體內的原位測試需求，澤攸探針臺采用全金屬密封結構與無油潤滑設計，可在10?? Pa高真空環境下穩定工作。在北京大學核殼結構填料研究中，研究人員利用該設備在SEM內直接測量氧化鋁包覆銀微球的絕緣電阻，通過單球電氣測試證實涂層電阻較原始銀微球提升6個數量級。這種原位表征能力避免了樣品轉移過程中的污染風險，為核殼材料電-熱協同優化提供了可靠數據支撐。

　　四、智能化操作體系：從實驗設計到數據分析的全流程賦能

　　設備配備12英寸高清觸控屏與三維可視化軟件，支持自動路徑規劃與碰撞預警功能。在測試3D集成芯片的TSV通孔時，系統可自動識別數萬級微凸點陣列，規劃較優測試路徑并將單點測試時間壓縮至0.3秒。結合AI輔助數據分析模塊，設備可實時提取肖特基勢壘高度、界面態密度等關鍵參數，并生成符合IEEE標準的測試報告。
 

　　從量子器件研發到先進封裝測試，澤攸微納探針臺正以納米級精度重構電學表征的技術邊界。其創新性的機械設計、多模態測試能力及智能化操作體系，不僅為微納電子學研究提供了關鍵技術支撐，更推動著半導體產業向原子級制造時代加速邁進。