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產品中心三維光學輪廓儀BEUKER白光干涉光學輪廓儀布魯克白光干涉光學輪廓儀工作原理簡述
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布魯克白光干涉光學輪廓儀工作原理簡述布魯克白光干涉儀的應用范圍覆蓋了從前沿科學研究到工業化生產的多個環節。
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白光干涉光學輪廓儀是一種非接觸式的表面三維形貌測量工具。布魯克公司的該系列產品，通過捕捉由參考鏡和樣品表面反射的光線所產生的干涉現象，來解析樣品的微觀高度信息。布魯克白光干涉光學輪廓儀工作原理簡述
其核心光學系統采用LED白光光源，發光穩定且壽命較長。精密的分光鏡組與高性能物鏡協同工作，確保了清晰的干涉條紋。儀器主體框架常使用金屬材料，并集成主動隔震設計，有助于減弱環境振動對測量的干擾，保障了設備在多種條件下的穩定表現。
這類儀器能適應從光滑到粗糙的不同表面。其垂直方向的測量能力可以達到納米尺度，用于分辨微小的表面起伏。橫向分辨能力則與所選物鏡的放大倍數相關聯。憑借優化的硬件與算法，單次三維測量可以在較短時間內完成，方便進行重復性統計測量。
典型型號: ContourX-500
主要用途: 應用于半導體、材料科學、精密光學及微機電系統（MEMS）等領域，進行表面粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數的測量與分析。
使用簡介: 通過計算機軟件進行操作。放置樣品后，選取合適的物鏡，在軟件界面中調整光路和掃描參數，即可啟動自動測量并生成三維數據。
基礎參數示例:
垂直分辨率: 優于0.1 nm
最大垂直量程: 5 mm
標配物鏡: 5X, 10X, 20X, 50X
樣品臺行程: 100 x 100 mm
軟件是其價值的核心體現。測量完成后，軟件提供豐富的分析工具：
三維形貌視圖: 以直觀的三維圖像展示表面起伏。
二維輪廓提取: 可在任意位置截取截面線，進行臺階高度、角度等尺寸量測。
粗糙度分析: 依據國際標準（如ISO 25178），計算Sa, Sq, Sz等一系列粗糙度參數。
體積分析: 用于分析磨損、腐蝕或材料的體積損失。
統計與報表生成: 可對多次測量結果進行統計分析，并一鍵生成定制化的檢測報告。
這些功能將原始的干涉數據轉化為有價值的量化信息，為工藝改進和質量控制提供直接依據。布魯克白光干涉光學輪廓儀工作原理簡述