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產品簡介
? ??Zygo光學輪廓儀的材料與參數解析?Zygo白光干涉光學輪廓儀以其高分辨率和穩定性，在微納制造領域得到廣泛應用。
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Zygo白光干涉儀憑借其穩定的光學系統，適用于高精度表面測量。Zygo光學輪廓儀的材料與參數解析
產品細節
儀器采用模塊化設計，可根據需求升級物鏡、光源和軟件功能。其光學系統經過優化，減少雜散光干擾，提高信噪比。
用材與工藝
•主體框架采用鋁合金，輕量且抗震。
•光學鏡片采用低膨脹系數玻璃，減少溫漂影響。
•運動平臺采用精密導軌，確保掃描穩定性。
參數表（示例型號：Zygo Nexview）
•垂直測量范圍：1 nm 至 1 mm
•橫向分辨率：0.3 μm（100×物鏡）
•重復精度：±0.05 nm
•最大樣品高度：50 mm
用途
適用于光學鍍膜檢測、微電子封裝測量、精密模具表面分析等。
使用說明
1.開機后運行系統自檢。
2.選擇測量模式（單點、線掃描或面掃描）。
3.調整干涉對比度，優化測量效果。
4.保存數據并生成報告。
Zygo光學輪廓儀的材料與參數解析