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  • 202411-22
    Sensofar共聚焦白光干涉儀用于表征溫度誘導的硅晶片形狀和紋理演變

    本案例研究中,Linkam和SensofarMetrology展示了在為溫控光學輪廓測量實驗生產實驗裝置方面的合作。由于球面像差引起的成像問題,在過去一直是一個難點工序。使用Linkam的精密冷熱臺和Sensofar的Linnik物鏡解決了這些問題,實現了納米材料3D形貌輪廓的精確測量。我們觀察了硅晶片在20°C到380°C溫度范圍內的形貌變化。快速熱處理(RTP)是硅晶片制造過程中的一個重要步驟,其中晶片在短時間內快速加熱到高溫,然后以受控方式緩慢冷卻,為晶片賦予所需的半導...

  • 202411-22
    Sensofar共聚焦白光干涉儀用于通過全內反射產生結構顏色的表面的表征

    我們的研究涉及設計產生干涉顏色的微結構。我們對這種光學機制的第一次報告出現在Goodling,A.E.,等(2019)的論文中。“通過微尺度凹面界面的全內反射和干涉實現的顏色化。”Nature566(7745):523-527。光在微結構內通過全內反射反彈,并且在經歷不同反射路徑的光線之間發生光學干涉。我們設計微結構化表面來控制光的反射和產生的顏色。我們需要測量表面地形,以便將光學性質與表面幾何形狀關聯起來。微結構的幾何形狀,如它們的深度、寬度、角度和表面粗糙度都會影響光學性...

  • 202411-21
    Sensofar共聚焦白光干涉儀用于摩擦過程中W-C:H涂層的轉移層演變

    該案例研究專注于開發具有高硬度和同時具有較低摩擦系數的納米復合W-C:H涂層。我們研究了在混合PVD-PECVD工藝中由添加到濺射大氣中的烴(主要是乙炔)得到的不同氫化碳基質含量的W-C:H涂層系統。涂層是使用三種不同的PVD技術(直流磁控濺射、HiPIMS、HiTUS)制備的,通過不同的烴氣添加來控制氫化碳的含量。由于此處研究的涂層的摩擦行為是由球上的轉移層形成來控制的,而我們早期的工作重點是研究硬度和摩擦系數之間的基本關系,因此重點轉向了轉移層本身的演變的研究。重要的是要...

  • 202411-21
    Sensofar共聚焦白光干涉儀用于插入物的前沿測量

    螺旋插刀用于制造螺紋。螺旋加工過程復雜,這就是為什么插刀上有許多不同的角度(前角、后角、間隙角)(圖1a)。此外,有些插刀上還有多達3個刃齒。這使得插刀的測量變得非常困難。在先前的質量評估中,人們不得不依賴于簡單的光學設備來評估尺寸精度,并使用探針設備測量表面粗糙度。然而,這些測量的信息價值非常有限。此外,通常需要破壞零件以便測量所需的尺寸。為了不斷提高工具的質量,需要一種靈活的設備來測量和評估切削工具的關鍵尺寸和表面粗糙度。本案例研究的目的是使用3D光學輪廓儀測量插刀的切削...

  • 202411-20
    共聚焦白光干涉儀用于對通過 ROBOCASTING 技術形成的陶瓷層進行幾何測量

    Robocasting是用于陶瓷基材料的第一代擠出增材制造方法,可構建包含連續層的成品零件。它具有易于加工和經濟實惠的優點,并且適用于多種材料。Robocasting有望用于生產壓電傳感器、陶瓷晶格過濾器或陶瓷晶格結構,例如定制的骨植入物。掃瞄式電子顯微鏡(SEM)等常規方法可以用于測量燒結零件上的一些幾何信息,但是,印刷陶瓷層很難通過這些常規方法進行測量。在這項研究中,研究人員使用了一臺非接觸式3D表面測量共聚焦顯微鏡(Sneox,Sensofar,巴塞羅那)來測量單層陶瓷...

  • 202411-20
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 史*工具的使用與景觀演變:3D 微磨損視角

    1-.ScottRS,UngarPS,BergstromTS,BrownCA,GrineFE,TeafordMF&WalkerA(2005).牙齒微磨損質地分析顯示,人化石中人種的飲食差異。Nature436693-695.2-.EvansAA,DonahueRE(2008).激光掃描共聚焦顯微鏡:研究石器時代微磨損的潛在技術J.Archaeol.Sci.35,2223-2230.3-.GillPG,PurnellMA,CrumptonN,BrownKR,GostlingNJ...

  • 202411-19
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 用于手持設備瞬態振動傳播的有限元分析

    所測樣品是指尖皮膚的復制品。在這個例子中,在測量過程中難以完*保持手指絕對靜止,因此需要使用測量復制品的間接測量方法。目的是獲得用于模擬皮膚微觀幾何形狀的信息,以便創建簡化的虛擬模型。模型被用于有關瞬態振動從手持式設備(例如沖擊扳手和鑿子機)經由皮膚傳播到發生損壞的神經的有限元分析(FEA)中。這些振動會導致稱為“白手指”的醫療狀況,也是一種常見的工作相關健康問題。在這項由政府資助的項目之前,尚沒有針對此特定目的皮膚微觀幾何形狀表征研究。圖1.皮膚概述,測量區域描繪在矩形藍色...

  • 202411-19
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 用于醫用植入體制造和控制

    醫用植入體的制造過程需要非常高水平的質量控制,尤其是當零部件將被長期植入脊柱區域時(如圖1所示)。檢查過的零件呈現出來源不明確的不均勻標記,只有在最終目視檢查中才會被發現。目視檢查的可接受性標準通常依賴于人眼的解讀,并且在客戶規格中缺乏充分的描述,而這可能導致零件合規性方面發生沖突。如果造成缺陷的因素中涉及到機械加工,則可以定期進行粗糙度分析,以幫助評估標記。但是,接觸式觸針2D輪廓儀在這種復雜的成品鈦零件上留下的標記會造成不易被接受的缺陷。因此,我們選擇了非接觸式光學表面輪...

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