一、產品定位：跨尺度表面形貌分析的“全能選手"

作為Sensofar第五代干涉共焦顯微鏡，S neox系列突破傳統單一技術局限，通過共聚焦掃描、白光干涉、相位差干涉、AI多焦面融合四大模式協同工作，實現從粗糙表面（Ra>10μm）到超光滑表面（Ra<0.1nm）的全場景覆蓋。Sensofar S neox“四維協同"重塑微觀世界其核心價值在于：

• 一機多用：無需硬件更換，軟件一鍵切換測量模式，降低設備采購成本；

• 智能自適應：根據樣品特性自動優化光源波長、入射角度及算法，減少人工干預；

• 抗干擾設計：搭載實時環境補償算法（REC），在普通實驗室振動條件下（>100nm）仍可穩定輸出數據。

二、產品性能：技術參數定義

1. 核心參數表

2. 技術突破亮點

• Microdisplay共焦技術：掃描頭內無運動部件，消除機械振動對精度的干擾，壽命提升至10萬小時；

• 連續共聚焦掃描：通過同步面內與Z軸掃描，將傳統共聚焦速度提升3倍，15×15mm區域掃描僅需42秒；

• 三波長干涉場重建：單次掃描同步獲取表面形貌、膜厚分布（0.1nm分辨率）、材料折射率及真色彩光學特征。

三、用材與工藝：工業級可靠性保障

• 光學系統：采用德國肖特超低色散玻璃與日本濱松高功率LED光源，光路穩定性優于λ/20（波長/20）；

• 機械結構：航空級鋁合金框架搭配大理石基座，抗振動干擾能力提升50%，適應潔凈車間、生產線等復雜環境；

• 防護設計：IP54防護等級，關鍵部件（如物鏡、電動平臺）采用密封設計，通過ISTA 3A運輸測試標準。

四、應用場景：跨行業解決方案

1. 半導體制造

• 檢測晶圓表面亞表面損傷層厚度，定位精度達0.5μm；

• 評估刻蝕均勻性，支持米級長度在線全檢。

2. 新能源電池

• 非接觸式測量極片涂層厚度一致性，避免探針劃傷風險；

• 實時監測隔膜微孔結構，優化電解液浸潤效率。

3. 生物醫學

• 分析人工關節羥基磷灰石涂層的孔隙率與結晶度，預測植入物壽命；

• 捕捉細胞培養基底表面形貌對細胞生長的影響（如干細胞分化導向）。

4. 航空航天

• 測量渦輪葉片表面粗糙度（Ra=8.3μm），量化噴砂處理工藝參數；

• 檢測復合材料內部缺陷（如分層、孔隙），支持CT數據融合分析。

五、包裝與運輸：安全交付的“全流程防護"

• 定制化包裝：高密度泡沫內襯+防震木箱，通過ISTA 3A運輸測試，確保設備在長途運輸中免受沖擊；

• 配件清單：標準物鏡套裝（2.5×-100×）、校準樣塊、SensoSCAN軟件授權、操作手冊與快速指南；

• 可選配模塊：12英寸自動晶圓臺、高溫原位測量艙（最高800℃）、五軸旋轉臺。

六、使用說明：從開箱到測量的“三步閉環"

1. 安裝調試：由Sensofar認證工程師提供現場安裝與光路校準服務，確保設備達到出廠精度標準（縱向精度±0.5nm）；

2. 操作培訓：通過線上課程與線下實操結合，覆蓋軟件參數設置、測量模式選擇、數據分析報告生成等全流程；

3. 日常維護：提供每日清潔、季度校準、年度保養的標準化流程，延長設備使用壽命。

結語：S neox——微觀世界的“通用語言"

從哈佛大學量子點薄膜的原子級堆疊分析，到特斯拉超級工廠每分鐘30個電池極片的涂層厚度檢測，Sensofar S neox正以“四維協同"技術重新定義表面測量標準。其價值不僅在于數據精度，更在于將不可見轉化為可量化，將經驗判斷升維至數據決策——這正是工業4.0時代對微觀分析的核心需求。Sensofar S neox“四維協同"重塑微觀世界