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產品簡介
Sensofar S Neox多模式光學3D表面解決方案Sensofar S Neox 是一款*的光學3D表面輪廓儀，整合了共聚焦、干涉和聚焦變化三種測量技術，適用于高精度表面形貌分析。該設備廣泛應用于微電子、光學元件、精密加工及科研領域，提供快速、準確的非接觸式測量方案。
產品分類
Sensofar S Neox 是一款*的光學3D表面輪廓儀，整合了共聚焦、干涉和聚焦變化三種測量技術，適用于高精度表面形貌分析。該設備廣泛應用于微電子、光學元件、精密加工及科研領域，提供快速、準確的非接觸式測量方案。Sensofar S Neox多模式光學3D表面解決方案
多技術融合：支持共聚焦顯微鏡（CLI）、白光干涉（VSI）和聚焦變化（FVI）三種測量模式，適應不同表面特性。
高分辨率成像：Z軸分辨率可達亞納米級，橫向分辨率達亞微米級，滿足精細結構檢測需求。
智能自動化：自動對焦、多區域拼接、傾斜校正等功能，提升測量效率。
廣泛適用性：可測高反射、透明、粗糙或復雜曲面樣品，減少傳統測量限制。
光學系統：高品質物鏡與LED光源，確保成像清晰穩定。
機械結構：精密導軌與減震設計，降低環境振動干擾。
軟件分析：直觀的SensoMAP軟件支持3D建模、粗糙度分析、形貌對比及數據導出。
| 參數 | 指標 |
|---|---|
| 測量技術 | CLI/VSI/FVI |
| Z軸分辨率 | ≤0.1 nm (VSI模式) |
| 橫向分辨率 | ≤0.3 μm |
| 最大視場 | 10×物鏡下可達3.2 mm × 3.2 mm |
| 樣品高度范圍 | 0.1 mm ~ 100 mm |
| 適用環境 | 溫度15°C~30°C，濕度<70% |
S Neox Basic：標準配置，適用于常規工業檢測。
S Neox Advanced：增強光學與掃描速度，適合高精度研發需求。
S Neox Custom：支持定制化模塊，滿足特殊應用場景。
微電子制造：PCB、MEMS器件、晶圓缺陷檢測。
光學元件：透鏡、反射鏡、濾光片表面質量分析。
精密加工：刀具、模具、機械部件形貌測量。
科研實驗：材料表面特性研究、生物樣本觀察。
主機（含光學模塊與載物臺）
校準證書與標準參考樣品
SensoMAP專業分析軟件（含授權密鑰）
防塵防震運輸箱（符合工業包裝標準）
初始化設置：安裝軟件并連接設備，進行系統校準。
樣品準備：清潔樣品表面，固定于載物臺。
模式選擇：根據樣品材質選擇CLI、VSI或FVI模式。
參數調整：設置掃描范圍、分辨率及光照條件。
數據采集與分析：實時預覽形貌圖像，生成檢測報告。
專業支持：提供在線技術指導與現場操作培訓。
保修服務：整機1年保修，核心光學組件延保至2年。
定期維護：可選校準服務與性能優化套餐，確保設備長期穩定運行。
Sensofar S Neox 憑借多模式測量、高精度數據及智能化操作，為工業質檢與科研創新提供可靠工具。如需技術演示或定制方案，歡迎聯系我們的專業團隊。Sensofar S Neox多模式光學3D表面解決方案