在半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)學(xué)、精密加工等領(lǐng)域，表面形貌的微米級(jí)甚至納米級(jí)差異直接影響產(chǎn)品性能。Sensofar三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀以模塊化設(shè)計(jì)、多技術(shù)融合和智能化操作，為科研與工業(yè)用戶提供覆蓋全尺度、全材質(zhì)的表面測(cè)量解決方案。Sensofar三維輪廓儀微觀世界多模態(tài)測(cè)量利器

技術(shù)融合：三模合一，適應(yīng)多元場(chǎng)景

Sensofar的核心創(chuàng)新在于將共聚焦顯微、白光干涉與多焦面疊加技術(shù)集成于同一傳感器頭，用戶無需更換硬件即可通過軟件一鍵切換測(cè)量模式：

• 共聚焦模式：采用高數(shù)值孔徑物鏡（最高支持150×/0.95NA），橫向分辨率達(dá)0.1μm，可測(cè)量斜率達(dá)86°的粗糙表面，適用于微電子芯片的臨界尺寸（CD）分析與刀具切削刃形貌檢測(cè)。

• 白光干涉模式：基于垂直掃描干涉（VSI）技術(shù)，縱向分辨率穩(wěn)定在納米級(jí)，支持從光滑表面到中度粗糙表面的形貌還原，廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡片平整度檢測(cè)與半導(dǎo)體晶圓減薄工藝分析。

• 多焦面疊加模式：通過快速掃描與智能算法融合多焦面數(shù)據(jù)，消除噪點(diǎn)并擴(kuò)展測(cè)量范圍，特別適合模具表面微米級(jí)缺陷的快速定位與增材制造部件的紋理分析。

硬件設(shè)計(jì)：穩(wěn)定耐用，適配復(fù)雜環(huán)境

• 光學(xué)系統(tǒng)：配備四色LED光源（紅/綠/藍(lán)/白），壽命超50,000小時(shí)，避免激光散斑干擾；采用無限遠(yuǎn)光學(xué)設(shè)計(jì)，支持5×至100×共聚焦物鏡與10×/20×干涉物鏡靈活切換。

• 運(yùn)動(dòng)控制：垂直掃描范圍達(dá)40mm，閉環(huán)控制精度0.01nm；XY平臺(tái)行程125mm×75mm，可選配5軸電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)（A軸360°無限旋轉(zhuǎn)，B軸-30°至110°傾斜），實(shí)現(xiàn)復(fù)雜曲面（如渦輪葉片）的全自動(dòng)拼接測(cè)量。

• 材料兼容性：從金屬、陶瓷到聚合物、生物組織，設(shè)備可測(cè)量重量≤25kg、高度≤150mm的樣品，支持水浸物鏡與長焦鏡頭等特殊配置。

型號(hào)對(duì)比：按需選擇，覆蓋全需求

典型應(yīng)用：從實(shí)驗(yàn)室到產(chǎn)線的全流程覆蓋

1. 半導(dǎo)體制造
   在8英寸晶圓減薄工藝中，S neox通過20×干涉物鏡測(cè)量表面粗糙度（Ra＜0.5nm），同時(shí)利用共聚焦模式檢測(cè)鐳射槽深寬比，單次掃描覆蓋直徑200mm區(qū)域，替代傳統(tǒng)三立設(shè)備。

2. 增材制造質(zhì)量控制
   針對(duì)選擇性激光熔化（SLM）部件，S neox的“Ai變焦"技術(shù)可快速切換視場(chǎng)，對(duì)比CAD模型分析幾何偏差（如鋁合金樣品邊緣球化效應(yīng)），并通過ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)量化表面紋理參數(shù)（如Sdr展開面積比）。

3. 生物醫(yī)學(xué)研究
   測(cè)量牙齒釉質(zhì)微觀磨損時(shí)，設(shè)備的水浸物鏡與彩色成像功能可還原表面紋理細(xì)節(jié)，結(jié)合SensoPRO軟件提取三維形貌數(shù)據(jù)，輔助研究磨耗機(jī)制與修復(fù)材料性能。

操作流程：智能化設(shè)計(jì)，降低使用門檻

1. 一鍵校準(zhǔn)：通過內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)樣塊（臺(tái)階高度100nm±0.5nm）自動(dòng)完成系統(tǒng)標(biāo)定，耗時(shí)＜2分鐘。

2. 智能測(cè)量：SensoSCAN軟件根據(jù)樣品特征自動(dòng)推薦模式（如高斜率表面啟用多焦面疊加），用戶僅需設(shè)置掃描范圍與分辨率。

3. 數(shù)據(jù)分析：支持ISO 25178/4287標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)輸出，提供2D/3D視圖、剖面線分析、濾波處理等功能，并可生成符合SPC統(tǒng)計(jì)質(zhì)量控制要求的報(bào)告。

用戶價(jià)值：長期穩(wěn)定，降本增效

• 投資回報(bào)：某光伏企業(yè)引入S neox后，單臺(tái)設(shè)備替代三臺(tái)傳統(tǒng)儀器，實(shí)驗(yàn)室空間占用減少60%，維護(hù)成本降低40%，投資回收周期縮短至12個(gè)月。

• 生產(chǎn)適配：SureScan™抗振技術(shù)使設(shè)備可直接部署于車間，無需氣浮隔振臺(tái)，環(huán)境溫度波動(dòng)±2℃內(nèi)仍可保持測(cè)量穩(wěn)定性。

• 服務(wù)支持：Sensofar提供全球聯(lián)保服務(wù)，中國區(qū)用戶可享72小時(shí)內(nèi)響應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)支持，并可通過云端平臺(tái)遠(yuǎn)程監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)，提前預(yù)警光源衰減等潛在故障。

Sensofar三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀以“技術(shù)融合、穩(wěn)定耐用、智能易用"為核心，助力用戶突破微觀測(cè)量瓶頸，推動(dòng)從材料研發(fā)到量產(chǎn)制造的全鏈條創(chuàng)新。