Sensofar 三維共聚焦白光干涉光學輪廓儀在微觀測量領域的出色表現,在 S neox 型號上得到充分體現,其技術細節與功能設計均圍繞提升測量效率與準確性展開。Sensofar輪廓儀微觀世界的精密之眼
共聚焦部分采用基于微型顯示器(FLCoS)的技術,摒棄了傳統機械掃描結構,實現無運動部件的穩定掃描。這一設計不僅降低了機械磨損帶來的精度衰減,還提升了掃描速度,共聚焦圖像幀率達 12.5 幀 / 秒,垂直 3D 掃描速度為 8 層 / 秒,對于需要快速獲取大面積表面信息的場景尤為適用。干涉物鏡提供多種類型選擇,包括可變反射率物鏡、Michelson 物鏡、Mirau 物鏡及 Linnik 物鏡等,可根據樣品特性(如透明程度、表面反射率)靈活搭配,確保干涉信號的穩定性。
設備配備 4 個獨立 LED 光源,分別為紅 630nm、綠 530nm、藍 460nm、白 550nm,不同波長的光線在測量中各有優勢:較短波長的藍光適合獲取更高的水平分辨率,可識別更細微的結構;較長波長的紅光在干涉掃描中穿透能力更強,適用于稍厚的透明樣品;三色 LED 交替照明時,能通過光譜差異增強圖像對比度,使不同材質的邊界更清晰。鏡頭方面,采用尼康優質 CF60-2 系列平場消色差高分辨率鏡頭,在增大工作距離(方便放置大型樣品)的同時,保證了數值孔徑(NA)值,確保成像質量。
在透明薄膜測量領域,該型號表現突出,1 秒內即可完成 10nm - 20μm 厚度范圍的薄膜測量,厚度分辨率達 0.1nm,橫向分辨率 5μm。這一性能讓它在光學元件制造中可用于檢測增透膜的厚度均勻性,在薄膜研究中能跟蹤薄膜生長過程中的厚度變化,為產品質量提升與技術創新提供有力的數據支撐。Sensofar輪廓儀微觀世界的精密之眼